雙電測(cè)電四探針方阻電阻率測(cè)試儀的使用方法
發(fā)布時(shí)間： 2023-08-19 16:12:13 點(diǎn)擊： 861
雙電測(cè)電四探針方阻電阻率測(cè)試儀的使用方法：
雙電測(cè)電法是一種利用四探針法進(jìn)行測(cè)量的方法，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，能大大提高測(cè)試的精準(zhǔn)度，特別是對(duì)于斜置式四探針來說，這種方法更有優(yōu)勢(shì)。
雙電測(cè)電法主要運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量，其優(yōu)點(diǎn)是能夠提高測(cè)試的精準(zhǔn)度。該方法主要適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
準(zhǔn)備工作：
（1）將電源插頭插入儀器背面的電源插座，電源開關(guān)置于斷開位置。
（2）工作方式開關(guān)置于"短路"位置，電流開關(guān)處于彈出位置。
（3）將手動(dòng)測(cè)試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好。
（4）對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行一定的處理（如噴沙，清潔等）。
（5）調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測(cè)試要求。
測(cè)試：
（1）將電源開關(guān)置于開啟位置，測(cè)量選擇開關(guān)置于"短路"，出現(xiàn)數(shù)字顯示，通電預(yù)熱半小時(shí)。
（2）放好樣品，壓下探頭，將測(cè)量選擇開關(guān)置于"測(cè)量"位置，極性開關(guān)置于開關(guān)上方。
（3）選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍蹋瑪?shù)字顯示基本為"0000"，若末位有數(shù)字，可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)旋鈕使之顯示為"0000"。
（4）將工作方式開關(guān)置于"I調(diào)節(jié)"，按下電流開關(guān)，旋動(dòng)電流調(diào)節(jié)旋鈕，使數(shù)字顯示為"1000"，該值為各電流量程的滿量程值。
（5）再將極性開關(guān)壓下，使數(shù)顯也為1000±1，退出電流開關(guān)，將工作方式開關(guān)置于1或6.28處（探頭間距為1.59mm時(shí)置于1位置，間距為1mm時(shí)置于6.28位置）。（調(diào)節(jié)電流后，上述步驟在以后的測(cè)量中可不必重復(fù)。）
（6）若數(shù)顯熄滅，剩"1"，表示超出該量程電壓值，可將電壓量程開關(guān)撥到更高檔。
（7）讀數(shù)后，將極性開關(guān)撥至另一方，可讀出負(fù)極性時(shí)的測(cè)量值，將兩次測(cè)量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值。
注意事項(xiàng)：
（1）壓下探頭時(shí)，壓力要適中，以免損壞探針。
（2）由于樣品表面電阻可能分布不均，測(cè)量時(shí)應(yīng)對(duì)一個(gè)樣品多測(cè)幾個(gè)點(diǎn)，然后取平均值。
（3）樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān)，還需查附錄中的厚度修正系數(shù)，進(jìn)行修正。
